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　　专利摘要显示，本申请涉及气浮轴承加工领域，尤其是一种空气主轴用气浮轴承表面小孔检测方法、设备及系统，方法包括：获取槽浮轴承的小孔处成像；基于所述成像判断轴承小孔的初步加工情况；将锥形探头沿空气主轴用气浮轴承表面的小孔内，并获取感光组件上光斑的状态；基于所述光斑状态判断小孔的加工情况。解决了现有技术中空气主轴用气浮轴承表面小孔检测方法不满足检测要求的技术问题，达到提高小孔检测精度、检测效率、空气主轴用气浮轴承成品质量的技术效果。